材质：石英玻璃

    容积：21公升

    腔体尺寸：直径240mm，深度460mm

    腔体后部：铝

    腔门：铝质材料制作，抽拉式支撑架跟前门相连，便于手动放片；

    气体分布：前门扩散

    观察视窗：防紫外及微波

    支撑架：铝质材料，

    真空连接：DN40 ISO-KF

    压力控制：Pirani，1-100Pa

    真空泵：推荐35m3/h

    真空阀：电子气动阀，DN40 ISO-KF

    真空密封：硅树脂

    气体供应：

    气体通道：3路数字MFC，装有电磁阀，1000/500/200sccm（N2校准），1/4" Swagelok接头

    卸压：电磁阀，1/4" Swagelok接头

    功率：2.45GHz，50-1200W连续可调

    耦合：微波天线，铝质谐振器，腔体内无电极

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