研发用等离子去胶机
更新时间：2016-09-01 08:32:23
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详细介绍
研发用等离子去胶机技术参数：
腔体:铝
容积:16.6公升
尺寸:宽度330毫米×深度420毫米x120毫米
腔室门:腔体下开门结构
微波源：2.45GHz，可调50-600W
气体进气:3路数字显示的质量流量器控制，气体分布系统位于工艺腔体内部
观察视窗：52.5mm玻璃，防紫外和RF
真空计: Pirani,1-1000Pa
真空系统：DN 40 ISO-KF
真空阀：电动气动阀
设备尺寸：1635毫米x1405毫米x2265毫米
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