生产用等离子清洗机
更新时间：2016-09-01 08:32:19
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详细介绍
NPC-4000生产用等离子清洗机产品特点
紧凑型立式系统
自动上下载片
带Load Lock
不锈钢、铝制腔体或钟罩式耐热玻璃腔
兼容100级超净间使用
淋浴头、ICP或微波等离子源
旋转样品台
RF偏压可PID控制加热到300 °C或冷却的样品台
全自动或手动RF调谐
Zui多可支持8个MFC带电抛光的气体管路
PC计算机控制的气动阀
带密码保护的多级访问控制
基于LabView软件的PC计算机全自动控制
机械泵的压力可达到10mTorr
250 l/s的涡轮分子泵
极限真空为5x10-7Torr
完整的安全联锁
生产用等离子清洗机产品详细资料尽在www.nanochina17.com/NChina-SonList-1198281/
商品地址http://www.chem17.com/st312447/erlist_1198281.html
