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微波等离子去胶机

更新时间:2016-09-01 08:32:21
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详细介绍

  Q150微波等离子去胶机工艺参数:

    材质:石英玻璃
    容积:6公升
    腔体尺寸:直径150mm,深度260mm
    腔体后部:铝
    腔门:铝质材料制作,抽拉式支撑架跟前门相连,便于手动放片;
    气体分布:前门扩散
    观察视窗:防紫外及微波
    支撑架:铝质材料,
    真空连接:DN25 ISO-KF
    压力控制:Pirani,1-100Pa
    真空泵:推荐25m3/h
    真空阀:电子气动阀,DN25 ISO-KF
    真空密封:硅树脂
    气体供应:
    气体通道:1路数字MFC,装有电磁阀,500sccm(N2校准),1/4" Swagelok接头
    卸压:电磁阀,1/4" Swagelok接头
    功率:2.45GHz,50-600W连续可调
    耦合:微波天线,铝质谐振器,腔体内无电极
微波等离子去胶机产品详细资料尽在www.nanochina17.com/NChina-SonList-1198279/ 
商品地址www.chem17.com/st312447/erlist_1198279.html 
 

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